ICP雾化器采用严格的标准设计和制造，操作简单、重现性好。它们可为固溶物低于1%的水溶液样品提供灵敏度和精度。在ICP装置中常采用气动雾化装置，一般要求雾化器能采用较低的载气流量，如0.5-1 L/min、具有较低的样品提升量，如0.5-2 ml/min、较高的雾化效率、记忆效应小、雾化稳定性好，且适于高盐分溶液雾化及较好耐腐蚀能力，这些要求给雾化器的设计、制造带来苛刻的限制。ICP所用的气动雾化器有两种基本的结构：同心型雾化器和正交型雾化器。
ICP雾化器在使用时发现被颗粒堵塞怎么办？
a.将进样管拆除，雾化器喷嘴朝上在木质表面轻轻敲击以使颗粒堵塞松散并在重力作用下排出毛细管。
b.在喷嘴处接入压缩空气(15-30 psig)反吹、唢嘴和环面，利用手指堵住进样口和载气口，突然释放进样口以清除毛细管颗粒堵塞或突然释放载气口以清除载气颗粒堵塞。
c.在喷嘴处反向通入异丙醇使颗粒流出。
d.利用热水浸泡雾化器以使聚合物颗粒软化以疏通堵塞。
e.对于硅类颗粒的堵塞，可以使用HF(3-5%)清洗，吸取清洗液5-10秒后立即用清水冲洗。利用显微镜检查堵塞状况，重复3-5次。 (注意: 1、HF有毒性，使用时应具备相应的保护措施。2、HF清洗时间和浓度要准确控制，清洗完毕后要*清除HF并使雾化器干燥以防止HF对石英的腐蚀。)
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